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    CBI-D電子數顯式懸臂梁

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    霍爾器件的應用

    日期:2010-05-22  1707人瀏覽
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    1 引言 

    霍爾器件是一種磁傳感器。用它們可以檢測磁場及其變化,可在各種與磁場有關的場合中使用。霍爾器件以霍爾效應為其工作基礎。 

    霍爾器件具有許多優點,它們的結構牢固,體積小,重量輕,壽命長,安裝方便,功耗小,頻率高(可達1MHZ),耐震動,不怕灰塵、油污、水汽及鹽霧等的污染或腐蝕。 

    霍爾線性器件的精度高、線性度好;霍爾開關器件無觸點、無磨損、輸出波形清晰、無抖動、無回跳、位置重復精度高(可達μm級)。取用了各種補償和保護措施的霍爾器件的工作溫度范圍寬,可達-55℃~150℃。 

    按照霍爾器件的功能可將它們分為: 霍爾線性器件 和 霍爾開關器件 。前者輸出模擬量,后者輸出數字量。 

    按被檢測的對象的性質可將它們的應用分為:直接應用和間接應用。前者是直接檢測出受檢測對象本身的磁場或磁特性,后者是檢測受檢對象上人為設置的磁場,用這個磁場來作被檢測的信息的載體,通過它,將許多非電、非磁的物理量例如力、力矩、壓力、應力、位置、位移、速度、加速度、角度、角速度、轉數、轉速以及工作狀態發生變化的時間等,轉變成電量來進行檢測和控制。 

    2 霍爾效應和霍爾器件 

    2.1 霍爾效應 

    在一塊通電的半導體薄片上,加上和片子表面垂直的磁場B,在薄片的橫向兩側會出現一個電壓,如圖1中的VH,這種現象就是霍爾效應,是由科學家愛德文•霍爾在1879年發現的。VH稱為霍爾電壓。這種現象的產生,是因為通電半導體片中的載流子在磁場產生的洛侖茲力的作用下,分別向片子橫向兩側偏轉和積聚,因而形成一個電場,稱作霍爾電場。霍爾電場產生的電場力和洛侖茲力相反,它阻礙載流子繼續堆積,直到霍爾電場力和洛侖茲力相等。這時,片子兩側建立起一個穩定的電壓,這就是霍爾電壓。 

    在片子上作四個電極,其中C1、C2間通以工作電流I,C1、C2稱為電流電極,C3、C4間取出霍爾電壓VH,C3、C4稱為敏感電極。將各個電極焊上引線,并將片子用塑料封裝起來,就形成了一個完整的霍爾元件(又稱霍爾片)。

    為了精確地測量磁場,常用恒流源供電,令工作電流恒定,因而,被測磁場的磁感應強度B可用霍爾電壓來量度。 

    在一些精密的測量儀表中,還采用恒溫箱,將霍爾元件置于其中,令RH保持恒定。若使用環境的溫度變化,常采用恒壓驅動,因和RH比較起來,μn隨溫度的變化比較平緩,因而VH受溫度變化的影響較小。為獲得盡可能高的輸出霍爾電壓VH,可加大工作電流,同時元件的功耗也將增加。

    2.2 霍爾器件 

    霍爾器件分為: 霍爾元件 和 霍爾集成電路 兩大類,前者是一個簡單的霍爾片,使用時常常需要將獲得的霍爾電壓進行放大。后者將霍爾片和它的信號處理電路集成在同一個芯片上。 

    2.2.1 霍爾元件 

    霍爾元件可用多種半導體材料制作,如Ge、Si、InSb、GaAs、InAs、InAsP以及多層半導體異質結構量子阱材料等等。 

     
     
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